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無塵車間是指將必定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物掃除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別規(guī)劃之房間?！　?

無塵車間是不管外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有保持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間的等級(jí)包含1級(jí)無塵車間、百級(jí)無塵車間、千級(jí)無塵車間以及十萬級(jí)無塵車間等?！　?

千級(jí)無塵車間是什么意思?　　

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，達(dá)到了世界無塵規(guī)范的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵規(guī)范對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也便是業(yè)內(nèi)俗稱等級(jí)中的千級(jí)?！　?

千級(jí)無塵車間的規(guī)范，微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也便是業(yè)內(nèi)千級(jí)無塵車間的意思。（1000級(jí)的概念是：每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆）?！　?

無塵車間等級(jí)規(guī)范區(qū)分潔凈度等級(jí)規(guī)范ISO14644根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)僅有指標(biāo)來區(qū)分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí)，而且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um～0.5um范圍內(nèi)累計(jì)分布的粒子群。根據(jù)粒子徑，能夠區(qū)分為慣例粒子(0.1um～0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。